반도체 라인 쪽 일을 하는 지인이 최근에 공정 세정용 필터 얘기를 꺼냈습니다. 미세 공정일수록 오염을 얼마나 잘 막느냐가 수율을 가른다면서, 예전엔 다 해외에서 들여오던 걸 요즘은 국내에서도 맞춰볼 만하다고 하더군요. 궁금증이 확 생겨서 실제로 공정 테스트 단계에서 쓰이는 시노펙스 제품을 며칠 빌려 확인해 봤습니다. 제 관심사는 단순했습니다. 고순도 필터를 바꾸는 게 실제 현장에서 체감될 정도로 차이를 내는지, 그리고 안정적으로 쓸 수 있는지였습니다.
시작은 케미컬 라인 세정 구간이었습니다. 시노펙스의 10나노급 케미컬 필터(AF 필터)를 기존 해외산과 번갈아 넣어 흐름과 압력 변화를 먼저 체크했어요. 유량 유지가 일정했고, 초기 파티클 카운트가 안정적이라 예열 겸 세척 시간(플러싱)을 짧게 가져가도 수치가 들쭉날쭉하지 않았습니다. 작은 차이지만 공정 앞단에서 시간을 덜 잡아먹는다는 건 꽤 큰 이득이죠. 고순도 필터 교체 전후로 미세 파티클 로그를 보면, 10나노급이 걸러내는 영역이 확실히 살아있다는 느낌이었습니다. 미세 패턴에서 국부 결함이 줄고, 다음 공정에서 리워크가 덜 나오는 게 눈에 보였고요.
이번에 의외로 크게 느낀 부분은 소재 수급 이슈였습니다. 시노펙스가 ePTFE를 자체 생산하면서 리드타임이 짧아지고 배치 간 편차가 줄었다고 하는데, 실제로 정합성 테스트에서 차이가 있었습니다. 고순도 필터 하우징 체결감부터 씰링까지 일관성이 좋아서 설치 실수가 줄었고, 케미컬과 접촉하는 면이 불필요하게 부풀거나 색이 변하는 일이 없었습니다. 공정 중간에 필터 포트 실누설 테스트를 했을 때도 누설이 잡히지 않았고, 고온 구간에서 압력 스파이크가 있어도 막이 찢어지는 느낌은 없었습니다. 무엇보다 공급처가 국내로 열리니 긴급 교체나 추가 발주 대응이 편해져서 라인 다운타임을 줄이는 데 도움이 됐습니다. 이런 점은 고순도 필터를 매일 만지는 사람 입장에서는 꽤 현실적인 장점입니다.
물론 아쉬운 점도 있었습니다. 우선 초기 제품은 라벨링 정보가 간단해서 현장에선 모델 식별에 시간이 걸릴 수 있더군요. 배치 코드, 미디어 타입, 호환 케미컬 범위를 한눈에 볼 수 있으면 교체 속도가 더 올라갈 것 같습니다. 또, 특정 케미컬 조합에서는 프리플러싱을 권장 유량보다 살짝 높게 잡아야 파티클 카운트가 빨리 안정됐습니다. 이건 라인마다 다르겠지만, 고순도 필터라 해도 실제 케미컬과 온도, 압력 조건에 따라 최적점이 달라서 초반 2~3회는 로그를 꼼꼼히 보는 게 좋았어요. 마지막으로 하우징 잠금 토크를 규정치보다 과하게 주면 씰이 눌려서 공차가 어긋날 수 있습니다. 표준 토크 렌치를 쓰는 게 안전합니다. 이런 소소한 부분만 맞추면, 고순도 필터 교체 주기는 계획대로 가져가도 큰 변수 없이 운영이 가능했습니다.
며칠 써보니, 수입 일변도였던 영역에서 국산 대안이 생각보다 빨리 올라왔다는 느낌이 들었습니다. 라인에서 가장 민감한 구간에 걸어도 심리적 불안이 덜했고, 공급 쪽 여유가 있다는 게 운영자 입장에선 꽤 든든했어요. 솔직히 말하면, 고순도 필터 같은 건 잘되면 티 안 나고 문제 생기면 크게 난리나는 부품이잖아요. 그런 점에서 이번 선택은 조용하지만 분명히 체감되는 쪽에 가까웠습니다.
